薄膜和薄片的测厚方法

当今微电子薄膜，光学薄膜，抗氧化薄膜，巨磁电阻薄膜，高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用，在工业生产的薄膜，其厚度是一个非常重要的参数，直接关系到该薄膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜，由于电路集成程度的不断提高，薄膜厚度的任何微小变化，对集成电路的性能都会产生直接的影响。除此之外，薄膜材料的力学性能，透光性能，磁性能，热导率，表面结构等都与厚度有着密切的联系。那如何检测薄膜的厚度呢，本篇文章山东普创工业科技有限公司问您提供方案。

试样制备：

在距样品纵向端部大约1 m处,沿横向整个宽度截取试样,试样宽100 mm。除为提交或包装而折叠样品,试样应无折皱,也不应有其他缺陷。

选择仪器：

               PTT-03A薄膜测厚仪

测试步骤：

1.试样在(23士2)C条件下状态调节至少1 h,对湿敏薄膜﹐状态调节时间和环境应按被测材料的规范,或按供需双方协商确定。

2.试样和测量仪的各测量面(2.1)无油污、灰尘等污染。

3. 测量前检查测量仪零点,在每组试样测量后应重新检查其零点。

4.测量时应平缓放下测头,避免试样变形。

按等分试样长度的方法以确定测量厚度的位置点,方法如下:

a)试样长度≤300 mm ,测10点﹔

b)试样长度在300 mm 至 1 500 mm之间,测20点;

c)试样长度≥1 500 mm,至少测30点。

对未裁边的样品,应在距边50 mm开始测量。